本装置是采用真空变压吸附（简称VPSA-Vacuum Pressure Swing Adsorption）法从试验尾气中直接制取约99%氦气的成套装置。

富氩气经压缩后进入PSA-Ar工段中正处于吸附状态的吸附塔内，通过吸附的方式，将CO2、N2和部分O2等杂质被吸附下来，未被吸附的氩气作为产品从塔顶流出，得到99.99~99.999纯度的Ar。

我公司的专利技术是将高温富氧烟气进行高纯度氧气回收再重复利用，可有效节约锂电池生产系统能耗，降低生产成本，生产企业经济效益显著。

制氮机简介变压吸附制氮机(简称PSA制氮机)是按变压吸附技术设计、制造的氮气发生设备。

我公司于1994年就致力于变压吸附空分制氧技术（VPSA-O2）的开发和应用，并于1995年5月实现工业化，变压吸附空分制氧装置建成。

成都华科阀门制造有限公司是成都华西化工科技股份有限公司的控股子公司。